[实用新型]具有多个修整装置的研磨设备有效
| 申请号： | 201120129877.2 | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN202114611U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王金祥 | 申请（专利权）人： | 精浚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有多个修整装置的研磨设备，其包括有一主体单元、一输送单元、多个不同轴向的研磨装置及多个修整装置；其中，输送单元用以输送至少一基材至研磨设备内，且每一修整装置可修整出相对应该每一修整装置的研磨装置的形状，故可增加后续通过该研磨装置研磨出该基材的多样化，满足客户需求，增加市场竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 修整 装置 研磨 设备 | ||
【主权项】：
一种具有多个修整装置的研磨设备，其特征在于，包括：一主体单元；一输送单元，其设置于所述主体单元的底部，所述输送单元用以输送至少一基材至所述研磨设备内；多个不同轴向的研磨装置，其设置于所述主体单元，这些研磨装置均具有一用以研磨所述基材的研磨面，所述研磨装置均为枢转的结构；多个修整装置，其设置于所述主体单元，所述修整装置分别对应所述研磨装置，所述修整装置均包括：一修整头部，所述修整头部具有至少一修整面，所述修整面与其对应的研磨面相对设置，所述修整面的形状对应于所述研磨面的形状；一用以驱动所述修整头部的驱动部；以及多个研磨介质，所述研磨介质附着于所述修整面。
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