[实用新型]一种基于PZT的激光扫描微圆孔的装置

摘要

本实用新型公开了一种基于PZT的激光扫描微圆孔的装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜折射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台，在PZT光学平台下方依次垂直分布有聚焦物镜和工件。激光束经两平面反射镜反射后入射至PZT光学平台上，经PZT光学平台反射后出射光束通过聚焦物镜聚焦至工件。该激光扫描装置按照正余弦的参数方程分别给PZT光学平台的X，Y方向逐步加电压，驱动PZT光学平台圆周运动，调节电压振幅，实现出射光束扫描出圆孔，其激光的能量损失小，加工微圆孔精度高，简单易行。

主权项

一种基于PZT的激光扫描微圆孔的装置，包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(6)，其特征在于：在所述激光器(1)出射激光束面上设有两块成一定间距垂直分布的平面反射镜，与平面反射镜反射的入射激光束相对应处设有一个PZT光学平台(4)，在PZT光学平台(4)下方依次垂直分布有聚焦物镜(5)和工件(6)。