[实用新型]铝对通隔离可控硅芯片有效
申请号: | 201120115577.9 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN202009003U | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 赵秀丽;苏舟;娄达;高广亮;徐敏丽;刘鑫 | 申请(专利权)人: | 锦州辽晶电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种铝对通隔离可控硅芯片,包括硅片、在硅片表面设有氧化层,其特殊之处是:在硅片内设有铝P型隔离墙,在硅片表面对应铝P型隔离墙处设有硅铝合金层。优点是:由于硅片表面设有硅铝合金层,可以提高表面杂质浓度,大大缩短硅片的高温处理过程,减少了热处理引入的旋涡缺陷,优化器件电压及反向漏电流等参数。 | ||
搜索关键词: | 隔离 可控硅 芯片 | ||
【主权项】:
一种铝对通隔离可控硅芯片,包括硅片,在硅片表面设有氧化层,其特征是:在硅片内设有铝P型隔离墙,在硅片表面对应铝P型隔离墙处设有硅铝合金层。
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