[实用新型]坩埚下降法单晶生产车间有毒污染空气准静态置换装置

摘要

本实用新型涉及一种坩埚下降法单晶生产车间有毒污染空气准静态置换装置，属于单晶生长领域。坩埚下降法单晶生产车间存在有毒元素污染车间空气问题，本案旨在解决该问题。本案装置包括装设位置分别在车间的顶部及底部的结构位置一上一下面对面相互对峙的多孔洞的顶板及多孔洞的地板，顶板的诸多孔洞与诸多等内径、等长度的顶板输气支管连接，地板的诸多孔洞与诸多等内径、等长度的地板输气支管连接，诸多顶板输气支管的所有的余下的端口与用于送新风的通风机的出风口联通。这是一种可以进行准静态空气置换的装置，启动该装置，就能够在车间空气温场几乎不受扰动的情形下，对车间空气进行持续更新。

主权项

坩埚下降法单晶生产车间有毒污染空气准静态置换装置，该装置的结构包括用于在坩埚下降法单晶生产车间顶部架设的均匀分布着许多孔洞的顶板，所述顶板上的每一个孔洞分别与对应的一支顶板输气支管连接，顶板上的许多的孔洞对应着许多支的顶板输气支管，所述许多支的顶板输气支管是有着相同长度和相同内径的管道，以及，用于在坩埚下降法单晶生产车间底部架设的均匀分布着许多孔洞的地板，所述地板上的每一个孔洞分别与对应的一支地板输气支管连接，地板上的许多的孔洞对应着许多支的地板输气支管，所述许多支的地板输气支管是有着相同长度和相同内径的管道，结构位置分别位于顶部和底部的所述顶板的板面与所述地板的板面相互平行、相互对映、结构位置一上一下面对面相互对峙，以及，用于向坩埚下降法单晶生产车间送新风的通风机，所述用于向坩埚下降法单晶生产车间送新风的通风机的出风口与所述许多支的顶板输气支管的所有的余下的端口联通。