[实用新型]一种硅片多线切割机的布线结构有效

专利信息
申请号: 201120100255.7 申请日: 2011-04-08
公开(公告)号: CN202147322U 公开(公告)日: 2012-02-22
发明(设计)人: 于琨;沈谋 申请(专利权)人: 光为绿色新能源股份有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 074000 河北省高碑*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种硅片多线切割机的布线结构,两个工作台独立运动,四个线导轮A、B、C、D分别由四个电机驱动,下线网的左放线轴上的切割线分别绕过滑轮组I、线导轮C、线导轮D后,再绕过滑轮组II后收在左收线轴上;上线网的右放线轴上的切割线分别绕过滑轮组III、线导轮A、线导轮B后,再绕过滑轮组IV后收在右收线轴上。本实用新型可以使用细切割线,充分利用硅料,降低了硅料的切口损失,且降低了细切割线断线率,减少切割线断裂对硅片切割造成的不良影响,实现提高晶片切割速度的可能,提高切割机的工作效率,降低晶片切割成本,保持晶片较高的成品率及良率。
搜索关键词: 一种 硅片 切割机 布线 结构
【主权项】:
一种硅片多线切割机的布线结构,它包括两个工作台、上、下各两个平行分布的线导轮A、B、C、D、四个电机;其特征在于:其还包括上、下两套线网;两个工作台是独立运动的,四个线导轮A、B、C、D分别由四个电机驱动,下线网的左放线轴上的切割线分别绕过滑轮组I、线导轮C、线导轮D后,再绕过滑轮组II后收在左收线轴上;上线网的右放线轴上的切割线分别绕过滑轮组III、线导轮A、线导轮B后,再绕过滑轮组IV后收在右收线轴上。
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