[实用新型]一种硅片多线切割机的布线结构有效
| 申请号: | 201120100255.7 | 申请日: | 2011-04-08 |
| 公开(公告)号: | CN202147322U | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
| 发明(设计)人: | 于琨;沈谋 | 申请(专利权)人: | 光为绿色新能源股份有限公司 |
| 主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 074000 河北省高碑*** | 国省代码: | 河北;13 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种硅片多线切割机的布线结构,两个工作台独立运动,四个线导轮A、B、C、D分别由四个电机驱动,下线网的左放线轴上的切割线分别绕过滑轮组I、线导轮C、线导轮D后,再绕过滑轮组II后收在左收线轴上;上线网的右放线轴上的切割线分别绕过滑轮组III、线导轮A、线导轮B后,再绕过滑轮组IV后收在右收线轴上。本实用新型可以使用细切割线,充分利用硅料,降低了硅料的切口损失,且降低了细切割线断线率,减少切割线断裂对硅片切割造成的不良影响,实现提高晶片切割速度的可能,提高切割机的工作效率,降低晶片切割成本,保持晶片较高的成品率及良率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 切割机 布线 结构 | ||
【主权项】:
一种硅片多线切割机的布线结构,它包括两个工作台、上、下各两个平行分布的线导轮A、B、C、D、四个电机;其特征在于:其还包括上、下两套线网;两个工作台是独立运动的,四个线导轮A、B、C、D分别由四个电机驱动,下线网的左放线轴上的切割线分别绕过滑轮组I、线导轮C、线导轮D后,再绕过滑轮组II后收在左收线轴上;上线网的右放线轴上的切割线分别绕过滑轮组III、线导轮A、线导轮B后,再绕过滑轮组IV后收在右收线轴上。
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