[实用新型]阴极弧高真空低电流稳定装置无效
| 申请号： | 201120093424.9 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202063988U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘海泉;彭冉;何文锋;钟宜航 | 申请（专利权）人： | 刘海泉 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 63600*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种阴极弧高真空低电流稳定装置，包括与引弧气缸支承座连接的法兰、与法兰连接的弧靶座，与弧靶座连接的弧靶，其特征在于：所述法兰与弧靶之间还设置有绝缘套，所述弧靶座上固定连接有调节装置，所述调节装置包括与弧靶座固定连接的滑杆、与滑杆滑动连接的磁环、包裹磁环的壳体，所述法兰上还电连接有电阻，电阻另一端接地。本实用新型具有稳弧电流低、不会拉弧且电弧蒸发源蒸发出的金属离子不易沉积的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 真空 电流 稳定 装置 | ||
【主权项】：
阴极弧高真空低电流稳定装置，包括与引弧气缸支承座（1）连接的法兰（2）、与法兰（2）连接的弧靶座（3），与弧靶座（3）连接的弧靶（4），其特征在于：所述法兰（2）与弧靶（4）之间还设置有绝缘套（5），所述弧靶座（3）上固定连接有调节装置，所述调节装置包括与弧靶座（3）固定连接的滑杆（6）、与滑杆（6）滑动连接的磁环（7）、包裹磁环（7）的壳体（8），所述法兰（2）上还电连接有电阻（9），电阻（9）另一端接地。
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