[实用新型]光罩盒的定位结构有效
| 申请号： | 201120038225.8 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN201917776U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 江枝茂;朱筱惠 | 申请（专利权）人： | 中勤实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，其包括有：一底座及一上盖；其中该底座上设一供安装晶圆片的安装座；该上盖内壁选定位置上设至少一定位元件，该多定位元件设一弹性本体，该弹性本体末端设一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；如此，可通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩盒 定位 结构 | ||
【主权项】：
一种光罩盒的定位结构，包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片的安装座；其特征在于：该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该多定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面，通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触。
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