[实用新型]一种膜片钳芯片微孔加工装置有效
| 申请号： | 201120034735.8 | 申请日： | 2011-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN202038984U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;应花山;吴浩;刘斌波;徐骏平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C03B33/09 | 分类号： | C03B33/09 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区珞*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜片钳芯片微孔加工装置，它包括紫外激光器、扩束镜、调节光圈、聚焦镜和玻璃膜片钳芯片夹具，紫外激光器的输出光路上设置扩束镜，扩束镜的输出光路上设置调节光圈，调节光圈的输出光路上设置聚焦镜，聚焦镜的输出光路上设置玻璃膜片钳芯片夹具。本实用新型装置使得聚焦后的紫外激光的高能量在极端的时间内能破坏钳芯片夹具上玻璃材料的分子结构，并在玻璃材料上形成均匀的孔洞；并且，本实用新型还通过计算机数控系统控制紫外激光器和运动控制平台，实现了整个加工流的自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 芯片 微孔 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种膜片钳芯片微孔加工装置，其特征在于：它包括紫外激光器(1)、扩束镜(2)、调节光圈(3)、聚焦镜(5)和玻璃膜片钳芯片夹具(6)，其中，所述紫外激光器(1)的输出光路上设置扩束镜(2)，扩束镜(2)的输出光路上设置调节光圈(3)，调节光圈(3)的输出光路上设置聚焦镜(5)，聚焦镜(5)的输出光路上设置玻璃膜片钳芯片夹具(6)。
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