[实用新型]二氧化碳离子水发泡机有效
| 申请号： | 201120029033.0 | 申请日： | 2011-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN201997264U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 金海涛;徐飞;吉保国;邬治国 | 申请（专利权）人： | 常州瑞择微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04;B01F5/00;C02F1/68 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 朱小杰 |
| 地址： | 213022 江苏省常州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及芯片制造加工领域，特别的涉及一种用于芯片清洗的二氧化碳离子水的制备装置。目的是提供一种结构简单，能增大二氧化碳气体在去离子水中的溶解率，并有效提高所制备离子水的离子浓度稳定性的在线二氧化碳离子水发泡机。一种二氧化碳离子水发泡机，包括机械机构部分和液路部分，上述机械结构部分主要包括机箱，上述液路部分包括去离子水(DIW)进水管、二氧化碳进气管、夹气膜混合筒和用来检测所获得的离子水二氧化碳含量的电导率探头，上述去离子水进水管与夹气膜混合筒的一个进口端连接，二氧化碳进气管通过压力调节阀与夹气膜混合筒的另一个进口端连接，上述电导率探头安装在夹气膜混合筒的出水端。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化碳 离子水 发泡 | ||
【主权项】：
一种二氧化碳离子水发泡机，包括机械机构部分和液路部分，上述机械结构部分主要包括机箱(1)，机箱内设二氧化碳(CO2)钢瓶(2)，机箱上半部设有操作面板，操作面板上具有液晶显示屏(4)和二氧化碳含量调节旋钮(5)，机箱顶部设有报警器(3)，其特征在于：上述液路部分包括去离子水(DIW)进水管(10)、二氧化碳进气管(11)、夹气膜混合筒和用来检测所获得的离子水二氧化碳含量的电导率探头(16)，上述去离子水进水管与夹气膜混合筒的一个进口端连接，二氧化碳进气管通过压力调节阀(18)与夹气膜混合筒的另一个进口端连接，上述电导率探头安装在夹气膜混合筒的出水端。
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