[实用新型]曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构有效
| 申请号： | 201120002711.4 | 申请日： | 2011-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN202384301U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 刘金波;付廷喜;付玉磊;李向前;袁东秀;张晋 | 申请（专利权）人： | 天津伍嘉联创科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/56 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王丽英 |
| 地址： | 300451 天津市塘沽区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构，它包括步进电机，步进电机与上下驱动摆杆一端联接，驱动摆杆另一端联接凸轮轴承，上下随动板上的长条孔与凸轮轴承做相切配合，上下随动板联接双滑轨安装板，双滑轨安装板背部通过安装在其上的两个平行设置的滑块与安装在后大立板上的两个滑轨上下往复运动相滑动配合，在所述的双滑轨安装板底部联接有热封执行组件。本机构用稳定的电压取代不太稳定的气压做动力，保证了机构每次下压力量的一致均匀，更能通过调整步进电机的脉冲数设定机构的下压高度，简单快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 曲柄 滑块式 可调 脉冲 上下 机构 | ||
【主权项】：
曲柄滑块式可调脉冲上下热封机构，其特征在于：它包括步进电机，步进电机与上下驱动摆杆一端联接，驱动摆杆另一端联接凸轮轴承，上下随动板上的长条孔与凸轮轴承做相切配合，上下随动板联接双滑轨安装板，双滑轨安装板背部通过安装在其上的两个平行设置的滑块与安装在后大立板上的两个滑轨上下往复运动相滑动配合，在所述的双滑轨安装板底部联接有热封执行组件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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