[发明专利]固晶装置及固晶方法无效
申请号: | 201110461815.6 | 申请日: | 2011-12-27 |
公开(公告)号: | CN103107248A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 锺君炜;罗伟诚;吴荣崑;姜崇义 | 申请(专利权)人: | 华新丽华股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/683 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 中国台湾桃园县杨*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种固晶装置及一种固晶方法,可将放置于一第一置放区的多个晶粒同时地固设于一第二置放区的一基板。固晶装置包含有一晶粒吸取器,可移动地位于第一置放区及第二置放区的上方;晶粒吸取器具有多个吸嘴,所述吸嘴可将第一置放区上的所述晶粒吸起,然后将所述晶粒同时地放置在基板上。 | ||
搜索关键词: | 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种固晶装置,用以将置于一第一置放区的多个晶粒固设于一第二置放区的一基板,包含:一晶粒吸取器,可移动地位于该第一置放区及该第二置放区的上方,该晶粒吸取器具有多个吸嘴;其中,所述吸嘴用以将该第一置放区上的一预定数量的所述晶粒吸起,然后同时地放置在该基板上。
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