[发明专利]带测温接口的单晶炉下炉体无效
| 申请号： | 201110455180.9 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184527A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 汤仁兴 | 申请（专利权）人： | 汤仁兴 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带测温接口的单晶炉下炉体，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种带测温接口的单晶炉下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）的侧壁上开设有三个测温接口（2），所述三个测温接口（2）位于同一平面，且相邻两个测温接口与其所在平面中心的连线成120°度夹角。这种带测温接口的单晶炉在侧壁上开设有三个测温接口，这三个测温接口位于同一平面，且相邻两个测温接口与其所在平面中心的连线成120°度夹角，三个测温接口均匀设置在下炉体侧壁上后共同对下炉体内部进行测温，具有较高的测量精度，能够保证单晶硅的生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 测温 接口 单晶炉下炉体 | ||
【主权项】：
一种带测温接口的单晶炉下炉体，其特征在于：它包括下炉体本体（1），所述下炉体本体（1）的侧壁上开设有三个测温接口（2），所述三个测温接口（2）位于同一平面，且相邻两个测温接口与其所在平面中心的连线成120°度夹角。
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