[发明专利]碳化硅晶体的定型定向的切割方法无效
| 申请号： | 201110453602.9 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102514109A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;庄击勇;王乐星;黄维;杨建华;施尔畏 | 申请（专利权）人： | 上海硅酸盐研究所中试基地;中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳化硅晶体的定型定向的切割方法，至少包括：对多个碳化硅晶锭进行整形处理并滚圆至所需尺寸的预处理工序；以及将多个所得碳化硅晶锭依次粘接成一个整体后同时进行切割的切割工序。本发明将多个碳化硅晶锭粘接成一个整体，使碳化硅晶锭的总长度增加，然后再进行切割，从而保证了被切割的碳化硅晶锭的长度满足多线切割机的切割长度，而且能将多个晶锭同时切割出多个晶片，提高了切割效率。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 晶体 定型 定向 切割 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅晶体的定型定向的切割方法，其特征在于，所述切割方法至少包括：对多个碳化硅晶锭进行整形处理并滚圆至所需尺寸的预处理工序；以及将多个所得碳化硅晶锭依次粘接成一个整体后同时进行切割的切割工序。
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