[发明专利]脉冲激光刻蚀玻璃基底油墨上铜导电膜的装置及其方法

摘要

本发明涉及脉冲激光刻蚀玻璃基底油墨上铜导电膜的装置及方法，高频率脉冲激光器的输出端依次布置有光闸和扩束镜，扩束镜的输出端布置有1/2波片和格兰棱镜，格兰棱镜的输出端布置有高反射率镜片，高反射率镜片的输出端布置有全反射镜，全反射镜的输出端布置有振镜场镜系统，振镜场镜系统的输出端正对于四轴高精度平台，四轴高精度平台的上方布置有CCD对位观察系统，四轴高精度平台的一侧布置有等离子吹气系统，另一侧安装有集尘系统，高反射率镜片的输出端还布置有功率实时监测探头，监测探头和振镜场镜系统通过通讯系统与控制系统相连。运用高频率的脉冲激光器对玻璃上黑色油墨基底的不可视区域铜导电膜层线路刻蚀。

主权项

脉冲激光刻蚀玻璃基底油墨上铜导电膜的装置 ，其特征在于：高频率脉冲激光器（1）的输出端布置有光闸（2），光闸（2）的输出端设置有扩束镜（3），扩束镜（3）的输出端布置有1/2波片（4），1/2波片（4）的输出端布置有格兰棱镜（5），格兰棱镜（5）的输出端布置有高反射率镜片（6），高反射率镜片（6）的输出端布置有全反射镜（10），全反射镜（10）的输出端布置有振镜场镜系统（8），振镜场镜系统（8）的输出端正对于四轴高精度平台（14），所述四轴高精度平台（14）的上方布置有CCD对位观察系统（11），所述四轴高精度平台（14）的一侧布置有等离子吹气系统（12），四轴高精度平台（14）的另一侧安装有集尘系统（13），高反射率镜片（6）的输出端还布置有功率实时监测探头（7），监测探头（7）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连，振镜场镜系统（8）通过通讯系统（16）与控制系统（17）相连。