[发明专利]真空镀膜机清洗设备无效
| 申请号： | 201110444191.7 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103184412A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黄登聪;彭立全 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23G3/04;B08B9/032;B08B3/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件中冷却管路清洗，其包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机中冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气泵。本发明克服传统真空镀膜机清洗设备镀膜室冷却效果不好的问题，且加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件的冷却管路清洗，其特征在于：真空镀膜机清洗设备包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机的冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气泵，以向储液腔体内充入高压气体，使出液管和回液管内充满清洗液。
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