[发明专利]光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置

摘要

本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置。该装置中光束分成一束测量光束和参考光束，实现测量光路斜入射被测物体以及对称接收反射光，反射光与参考光产生干涉，从干涉图样中获得来自于亚表面缺陷的散射光信息，抑制从表面直接反射的光以及系统中的杂散光，获得光学元件亚表面缺陷的散射光信息。该检测装置的特点包括：（1）光源为短相干光源，可以抑制系统中的杂散光；（2）装置中测量光路为斜入射与对称接收反射光，可以抑制光学元件表面的直接反射光，保证只接收来自亚表面缺陷的散射光，提高了信号的信噪比；（3）装置中还采用了光纤探针接收散射光信息，克服了高倍率下采用显微物镜对于接收亚表面缺陷部分的限制；（4）对于采集的图像，采用数字全息计算原理来分析和处理，从而得到亚表面缺陷深度的定量信息。

主权项

一种光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置，由一个激光器（1）、一个光束分束器（2）、一个光纤延迟线（3）、第一第二两个扩束准直组件（4、4′）、第一第二两个起偏器（5、5′）、第一第二两个透镜（6、6′）、一个显微物镜（8）、一个分光镜（9）、一个检偏器（10）和一个CCD摄像机（11）组成，其特征在于所述激光器（1）发出的光束经过分束器（2）分成两光束，一束为测量光束，一束为参考光束，参考光束经过光纤延迟线（3）后，两光束通过各自光路的第一第二扩束准直组件（4、4′）、第一第二起偏器（5、5′）和第一第二透镜（6、6′），然后测量光束照射到被测工件（7）上，经被测工件（7）反射，反射光通过显微物镜（8）后与参考光路的光在通过分光镜（9）处相遇并发生干涉，两干涉光经过检偏器（10）后照射到CCD摄像机（11）上，得到干涉图样。