[发明专利]热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器无效
| 申请号： | 201110436346.2 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN102589711A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 土屋泰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01J5/20;G01J5/34;H01L37/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种热式光检测器及其制造方法、热式光检测装置、电子仪器。该热式光检测器的特征在于，具有：基板；支撑部件，经由空腔部支撑在所述基板上；热检测元件，形成在所述支撑部件上，具有热电材料层夹在下部电极和上部电极之间的结构；光吸收层，形成在所述热检测元件上；以及热传递部件，所述热传递部件具备集热部，所述集热部通过连接部与所述热检测元件连接，具有俯视时比所述连接部大的面积，并至少对一部分波长区域的光具有光透过性且形成在所述光吸收层的内部的集热部，其中，所述下部电极具有俯视时在所述热电材料层的周围延伸的延伸部分，所述延伸部分具有反射已透过所述热传递部件的所述集热部的光中的至少一部分的光反射特性。 | ||
| 搜索关键词： | 热式光 检测器 及其 制造 方法 检测 装置 电子仪器 | ||
【主权项】：
一种热式光检测器，其特征在于，具有：基板；支撑部件，经由空腔部支撑在所述基板上；热检测元件，形成在所述支撑部件上，具有热电材料层夹在下部电极和上部电极之间的结构；光吸收层，形成在所述热检测元件上；以及热传递部件，所述热传递部件具备集热部，所述集热部通过连接部与所述热检测元件连接，具有俯视时比所述连接部大的面积，并至少对一部分波长区域的光具有光透过性且形成在所述光吸收层的内部，其中，所述下部电极具有俯视时在所述热电材料层的周围延伸的延伸部分，所述延伸部分具有反射已透过所述热传递部件的所述集热部的光中的至少一部分的光反射特性。
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