[发明专利]薄膜晶体管基板与其制法、显示器有效

专利信息
申请号: 201110422935.5 申请日: 2011-12-16
公开(公告)号: CN103165623A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 赖思维 申请(专利权)人: 群康科技(深圳)有限公司;奇美电子股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1362;H01L27/32
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 任默闻
地址: 518109 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种薄膜晶体管基板与其制法以及一种显示器。薄膜晶体管基板,包括:基板;以及金属导线结构,形成于基板之上,其中金属导线结构包括:主体金属层,形成于基板之上,其中主体金属层具有侧壁;顶部金属层,具有第一部份、第二部份与第三部份,其中第一部份位于主体金属层上、第二部份位于主体金属层的侧壁上,与第三部份位于基板上,且第一部份、第二部份与第三部份为一连续结构。本发明实施例的薄膜晶体管基板与其制法以及显示器,具有自保护金属导线结构,能够防止在后续制造工艺中受到其他酸性或碱性溶液的腐蚀,且可以避免电性不稳、电性异常以及线路短路的问题。
搜索关键词: 薄膜晶体管 与其 制法 显示器
【主权项】:
一种薄膜晶体管基板,其特征在于,包括:一基板;以及一金属导线结构,形成于所述基板之上,其中所述金属导线结构包括:一主体金属层,形成于所述基板之上,其中所述主体金属层具有一侧壁;一顶部金属层,具有一第一部份、一第二部份与一第三部份,其中所述第一部份位于所述主体金属层上、所述第二部份位于所述主体金属层的侧壁上,与所述第三部份位于所述基板上,且所述第一部份、所述第二部份与所述第三部份为一连续结构。
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