[发明专利]有机小分子热蒸发坩埚组件无效
| 申请号： | 201110417165.5 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102392219A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 曹进;容佳玲;王立;张建华 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 200436*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件，该坩埚组件包括坩埚本体（100）以及三层盖板；所述三层盖板包括设置在坩埚口的底层盖板（101）、位于底层盖板上的中层盖板（102）以及位于中层盖板上的顶层盖板（103）；所述底层盖板上设有若干通孔（1011）；所述中层盖板上至少设有一个微腔室（1021）；所述顶层盖板上至少设有一个出料孔（1031）；所述出料孔（1031）和通孔（1011）均与所述微腔室（1021）贯通；所述出料孔（1031）和通孔（1011）在同一水平面上的投影不重叠。本发明有效的解决了现有技术中因坩埚形状引起的有机薄膜均匀性变差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 分子 蒸发 坩埚 组件 | ||
【主权项】：
一种有机小分子热蒸发坩埚组件，其特征在于，该坩埚组件包括坩埚本体(100)以及三层盖板；所述三层盖板包括设置在坩埚口的底层盖板(101)、位于底层盖板上的中层盖板(102)以及位于中层盖板上的顶层盖板(103)；所述底层盖板上设有若干通孔(1011)；所述中层盖板上至少设有一个微腔室(1021)；所述顶层盖板上至少设有一个出料孔(1031)；所述出料孔(1031)和通孔(1011)均与所述微腔室(1021)贯通；所述出料孔(1031)和通孔(1011)在同一水平面上的投影不重叠。
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