[发明专利]堆叠式电容器及其制造方法

摘要

一种堆叠式电容器及其制造方法。该制造方法包括在基底上依次形成第一支撑层、第一绝缘层、第二支撑层、第二绝缘层、第三支撑层及硬掩模层；在第二支撑层、第二绝缘层、第三支撑层及硬掩模层中形成至少一第一开口；在第一开口的侧壁上形成间隙壁；以间隙壁为掩模，在第一支撑层及第一绝缘层中形成第二开口；进行一回吃工艺，以加大第二开口在第一绝缘层中的宽度；移除间隙壁；在第二开口及第一开口中依次形成下电极、介电层及上电极。

主权项

一种堆叠式电容器的制造方法，包括：于一基底上依次形成一第一支撑层、一第一绝缘层、一第二支撑层、一第二绝缘层、一第三支撑层及一硬掩模层；于该第二支撑层、该第二绝缘层、该第三支撑层及该硬掩模层中形成至少一第一开口，且残留部分该第二支撑层于该第一开口底部；于该第一开口的侧壁上形成一间隙壁；以该间隙壁为掩模，于该第一支撑层及该第一绝缘层中形成一第二开口；进行一回吃工艺，以加大该第二开口于该第一绝缘层中的宽度；移除该间隙壁；以及于该第二开口及该第一开口中依次形成一下电极、一介电层及一上电极。