[发明专利]一种空心硅芯的拉制方法

摘要

一种空心硅芯的拉制方法，包括用于融化晶体(11)的坩埚(10)和加热套(4)；用于拉制管状硅芯(3)的导模结构，所述拉制方法包括如下步骤：A、坩埚放料，B、加热坩埚融化晶体料，C、拉制管状硅芯，D、出成品；本发明所述空心硅芯在后续使用中，有效克服了现有实心方或圆硅芯直径较小的弊端，由相同重量的空心硅芯或略大于实心硅芯的空心硅芯，实现多晶棒的快速生长目的，本发明拉制硅芯的方法使用较为简单，大量节约了企业成本。

主权项

一种空心硅芯的拉制方法，包括用于融化晶体(11)的坩埚(10)和加热套(4)；用于拉制管状硅芯(3)的导模结构，其特征是：所述用于融化晶体(11)的坩埚(10)和加热套(4)，在坩埚(10)的外部间隔设有加热套(4)，坩埚(10)的下部设有支撑体(12)，模板(8)设置在坩埚(10)内，所述模板(8)的模板上面(13)设有环形槽(6)，环形槽(6)内设有贯通模板(8)下部的液体晶体通路(7)；对应模板上面(13)环形槽(6)的籽晶夹头上设有管状籽晶(1)；所述拉制方法包括如下步骤：A、坩埚放料：把干净的晶体(11)料放入坩埚(10)，所述晶体(11)的高度不得超出模板(8)的模板上面(13)，将晶体料平整压实，然后将模板(8)放置在坩埚(10)内，所述模板(8)的外缘面或上部面与定位机构(5)连接，所述模板(8)与定位机构(5)随动；坩埚(10)的支撑体(12)使所述坩埚独立且不与加热套(4)接触；B、加热坩埚融化晶体料：开启加热套(4)对坩埚(10)进行加热至坩埚(10)内的晶体(11)料融化，所述的晶体(11)料融化为液体；C、拉制管状硅芯：仔晶夹头带着管状籽晶(1)下降，管状籽晶(1)的籽晶下端(2)插入相匹配模板(8)的环形槽(6)中并插入环形槽(6)内熔化的晶体料液体中，然后提升管状籽晶(1)，坩埚(10)内熔化的晶体(11)料液会跟随管状籽晶(1)上升，脱离了模板(8)的环形槽(6)晶体(11) 结晶形成管状硅芯(3)；D、出成品：通过上述步骤晶体料液体便形成了一个新的管状硅芯(3)体，所述管状籽晶(1)在仔晶夹头夹带下缓慢上升，便可形成所需长度的成品管状硅芯(3)；E、重复上述步骤便可实现多次晶体拉制过程的管状硅芯(3)拉制。