[发明专利]感光性树脂组合物无效
| 申请号： | 201110402881.6 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102566271A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 井上胜治 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/00;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供感光性树脂组合物，其是含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物，根据本发明的感光性树脂组合物，可以得到机械特性优良的图案。(A)碱可溶性树脂(B1)具有碳数2～4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物(B2)与(B1)不同的聚合性化合物(C)聚合引发剂(D)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种含有(A)、(B1)、(B2)、(C)和(D)的感光性树脂组合物，其中，(A)为碱可溶性树脂，(B1)为具有碳数2～4的环状醚结构和烯性不饱和键的聚合性化合物，(B2)为与(B1)不同的聚合性化合物，(C)为聚合引发剂，(D)为溶剂。
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