[发明专利]三塔精馏制取7N光电子级超高纯氨的方法无效
申请号: | 201110398639.6 | 申请日: | 2011-12-05 |
公开(公告)号: | CN103130242A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 吴纳新 | 申请(专利权)人: | 吴纳新 |
主分类号: | C01C1/02 | 分类号: | C01C1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215008 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明由99.9%工业液氨采用三塔精馏的方法制取99.99999%光电子级超高纯氨。第一级精馏塔可在塔釜除去氨中水分,高沸物和金属杂质。第二级精馏塔可在塔顶除去轻组分H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等。第三级精馏塔可进一步在塔釜除去氨中水分等重组分,在塔顶除去氨中轻组分,然后得到7N光电子级超高纯氨。采用催化吸附法除去氨中水和氧等过程中,有可能带入新的化学杂质和颗粒,本发明可以尽量避免外来污染,达到光电子半导体外延所需的更优良的超高纯氨。 | ||
搜索关键词: | 精馏 制取 光电子 高纯 方法 | ||
【主权项】:
本发明由99.9%工业液氨采用三塔精馏方法制取99.99999%光电子级超高纯氨。
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