[发明专利]一种采用定容法测量小孔流导装置及方法无效
| 申请号： | 201110396490.8 | 申请日： | 2011-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102494868A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郭美如;吴启鹏;郭文瑾;李丹明;赵以德;王亮;肖玉华;李泰国 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01M10/00 | 分类号： | G01M10/00;G01N11/04 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用定容法测量小孔流导装置及方法，属于真空技术领域。所述装置包括：真空室、电离真空规、第一阀门、第一分子泵、第一机械泵、第二阀门、待测流导小孔、第三阀门、第四阀门、标准容器、第五阀门、第一电容薄膜规、第六阀门、第二分子泵、第二机械泵、第七阀门、气瓶、第八阀门、第二电容薄膜规。所述方法步骤包括：(一)根据气体等温膨胀原理测量定容室体积V；(二)根据测量的定容室体积V，测量待测流导小孔的流导C。该方法避免了因连接体积太大而不能测量小孔流导的问题，且测量小孔流导的不确定度仅为1.1％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 定容法 测量 小孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种采用定容法测量小孔流导装置，其特征在于：所述装置包括：真空室(1)、电离真空规(2)、第一阀门(3)、第一分子泵(4)、第一机械泵(5)、第二阀门(6)、待测流导小孔(7)、第三阀门(8)、第四阀门(9)、标准容器(10)、第五阀门(11)、第一电容薄膜规(12)、第六阀门(13)、第二分子泵(14)、第二机械泵(15)、第七阀门(16)、气瓶(17)、第八阀门(18)、第二电容薄膜规(19)；其中，待测流导小孔(7)与第二阀门(6)并联，且待测流导小孔(7)一端与真空室(1)连接，真空室(1)通过第一阀门(3)与第一分子泵(4)的一端相连，第一分子泵(4)的另一端与第一机械泵(5)连接，电离真空规(2)安装在真空室(1)上；待测流导小孔(7)的另一端通过第三阀门(8)与第一电容薄膜规(12)连接，第一电容薄膜规(12)与第五阀门(11)并联，标准容器(10)通过第四阀门(9)与第三阀门(8)和第一电容薄膜规(12)之间的管道连接；第一电容薄膜规(12)的另一端通过第八阀门(18)与第二电容薄膜规(19)连接；第二分子泵(14)的一端通过第六阀门(13)与第一电容薄膜规(12)和第八阀门(18)之间的管道连接，第二分子泵(14)的另一端与第二机械泵(15)连接；气瓶(17)通过第七阀门(16)与第一电容薄膜规(12)和第八阀门(18)之间的管道连接。
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