[发明专利]新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物

摘要

本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物，所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。

主权项

1.一种新型酚化合物，包含选自由下列化学式1表示的化合物、由下列化学式2表示的化合物中的一种、以及它们的组合：[化学式1][化学式2]其中，在化学式1和2中，R¹至R⁴⁶相同或不同，且各自独立地为氢、羟基基团、取代或未取代的C1至C30脂族有机基团、取代或未取代的C1至C30烷氧基基团、或卤素，条件是R¹至R⁴⁶中的至少一个是羟基基团，A¹至A⁶相同或不同，且各自独立地为-O-、-CO-、-COO-、-CR²⁰³R²⁰⁴-、-SO₂-、-S-、-CONH-(酰胺键)、-CH₂O-或单键，其中，R²⁰³和R²⁰⁴相同或不同，且各自独立地为氢、或者取代或未取代的C1至C30脂族有机基团，以及n₁至n₆相同或不同，且各自独立地为范围从1至5的整数。