[发明专利]LED外延生长装置

摘要

LED外延生长装置，属于外延生长设备技术领域，炉筒的上、下两端分别连接炉盖和炉底，在炉盖上分别设氮气进气口、混合气体接入通道和若干氢气进气通道；在炉盖和环形石墨护罩之间夹持环形均温组件，于环形石墨护罩内，在环形均温组件下端布置冷却装置；在环形均温组件上开设氢气引入通道，氢气引入通道的上端与炉盖上的氢气进气通道连接，氢气引入通道的下端布置在小石墨基盘的上方；在炉筒内的炉底上设置排气口。本发明可控制反应室与炉盖之间的温度，当反应室内的温度与炉盖的温度差较小时，在冷却装置表面就不容易生长颗粒。可省去更换冷却装置的工作量，节省时间，提高外延生产效率和外延产品的质量。

主权项

LED外延生长装置，包括环形炉筒，在所述炉筒的上、下两端分别密封连接炉盖和炉底，在炉底中心通过动密封件连接竖向转轴，在炉筒内水平布置大石墨基盘，所述大石墨基盘的中心与所述竖向转轴固定连接，在所述大石墨基盘上表面布置若干小石墨基盘；在所述大石墨基盘的下方通过设置在炉底上的支架布置加热器，在所述加热器与大石墨基盘之间水平设置石英护罩，在所述石英护罩与所述炉筒之间布置环形石墨护罩，所述环形石墨护罩与所述炉筒同心布置，且环形石墨护罩与炉筒之间设置间隙；其特征在于在炉盖中心连接氮气进气口，在炉盖上设置一个混合气体接入通道和若干氢气进气通道；在炉盖和环形石墨护罩之间夹持环形均温组件，在所述环形均温组件内设置螺旋形气体通道，所述螺旋形气体通道的一端与所述混合气体接入通道的内端连接，所述螺旋形气体通道的另一端和所述环形石墨护罩与炉筒之间的间隙连通；于环形石墨护罩内，在所述环形均温组件下端布置冷却装置；在所述环形均温组件上开设氢气引入通道，所述氢气引入通道的上端与炉盖上的氢气进气通道连接，氢气引入通道的下端布置在小石墨基盘的上方；在炉筒内的炉底上设置排气口。