[发明专利]一种塔板式曲折通路低温等离子气体发生器无效
| 申请号： | 201110345095.7 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102413628A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 罗鲲;黄涛;李小刚 | 申请（专利权）人： | 桂林理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种塔板式曲折通路低温等离子气体发生器。(1)等离子气体发生器的一侧接有电源(1)，与电源(1)同一侧中部有进气口(2)，另一侧中部有出气口(3)；(2)等离子气体发生器采用两排针状电极作为放电电极，正极(4)和负极(5)极组间隔为30-50mm；极组内各针状极柱等距排布，间距2-10mm；(3)每隔2-5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)；分隔塔板(6)与外壳(7)之间用玻璃胶进行密封。本发明制作简单，成本低，能产生密度高且均匀的等离子气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 板式 曲折 通路 低温 等离子 气体 发生器 | ||
【主权项】：
一种等离子气体发生器，其特征在于：(1)等离子气体发生器的一侧接有电源(1)，与电源(1)同一侧中部有进气口(2)，另一侧中部有出气口(3)；(2)等离子气体发生器采用两排针状电极作为放电电极，正极(4)和负极(5)极组间隔为30‑50mm；极组内各针状极柱等距排布，间距2‑10mm；(3)每隔2‑5个针状电极极柱设置一个分隔塔板(6)；分隔塔板(6)与外壳(7)之间用玻璃胶进行密封。
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