[发明专利]一种非制冷红外探测器的设计及制备方法

摘要

本发明公开了一种非制冷红外探测器的设计和制备方法，特别是关于一种基于单晶硅PN结温度特性的多波段非制冷红外探测器的设计和制备。本发明所提供的红外探测器由红外焦平面阵列、支撑焦平面阵列的衬底以及位于上述衬底上的驱动和读出电路组成；其中，PN结作为红外探测器中温度敏感单元设置在焦平面阵列的像元内，将吸收的热能转化成电压信号输出；设置于像元上的红外吸收结构层用于实现吸收不同波段的红外辐射；焦平面阵列信号最终由读出电路输出。本发明提供的红外探测器可实现非制冷工作和多波段红外探测。

主权项

一种基于单晶硅PN结温度特性的多波段、非制冷红外探测器，其特征在于：所述红外探测器由红外焦平面阵列(FPA)、支撑焦平面阵列的衬底以及位于上述衬底上的驱动和读出电路组成。