[发明专利]一种光子晶体结构发光二极管有效

专利信息
申请号: 201110338574.6 申请日: 2011-11-01
公开(公告)号: CN102361053A 公开(公告)日: 2012-02-22
发明(设计)人: 张雄;王璨璨;陈洪钧;张沛元;崔一平 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/06;H01L33/12
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 210096*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种光子晶体结构发光二极管,其特征在于该发光二极管包括:作为生长发光二极管衬底的n型硅衬底(1),在n型硅衬底(1)上设有AlN成核层(2),在AlN成核层(2)上生长有AlN/AlGaN多层缓冲层(3),在此多层缓冲层(3)表面制备有光子晶体结构(4),在此光子晶体结构(4)上生长n型GaN外延层(5),在n型GaN外延层(5)上生长有InGaN多量子阱有源发光层(6)。通过本发明的在多层缓冲层内刻蚀形成的周期性光子晶体微结构,能将沿不同方向传播的光子能量耦合至垂直于LED表面的方向,大幅度地提高LED的光提取效率。
搜索关键词: 一种 光子 晶体结构 发光二极管
【主权项】:
一种光子晶体结构发光二极管,其特征在于:其包括:作为生长发光二极管衬底的n型硅衬底(1),在n型硅衬底(1)上设有AlN成核层(2),在AlN成核层(2)上生长有AlN/AlGaN多层缓冲层(3),在此多层缓冲层(3)表面制备有光子晶体结构(4),在此光子晶体结构(4)上生长n型GaN外延层(5),在n型GaN外延层(5)上生长有InGaN多量子阱有源发光层(6);AlN成核层(2)和AlN/AlGaN多层缓冲层(3)来作为n型硅衬底(1)和n型GaN外延层(5)之间的缓冲介质;在AlN/AlGaN多层缓冲层(3)内刻蚀形成光子晶体微结构;p型电极和n型电极分别制作在p型GaN外延层表面和n型硅衬底(1)背面。
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