[发明专利]固体摄像器件及其制造方法和电子装置

摘要

本发明涉及固体摄像器件及其制造方法和包括该固体摄像器件的电子装置。所述固体摄像器件包括：光电转换单元，其形成在半导体基板上；读取单元，其读取光电转换单元的信号电荷，并由栅极绝缘膜和布置在栅极绝缘膜上的电极构成；遮光膜，其覆盖电极；以及防反射膜，其形成在光电转换单元上，并由四层以上的膜构成，其中，防反射膜中的下层的膜在图案化期间兼作阻挡膜，并且遮光膜的端部与半导体基板之间的间隔设置成小于栅极绝缘膜的厚度，通过在遮光膜的端部与半导体基板之间插入防反射膜中的下层的多层膜界定所述间隔。本发明提供能够提高拖尾特性的稳定性并提高防反射的效果和透光性的固体摄像器件及其制造方法和电子装置。

主权项

一种固体摄像器件，其包括：光电转换单元，其形成在半导体基板上；读取单元，其读取所述光电转换单元的信号电荷，并由栅极绝缘膜和布置在所述栅极绝缘膜上的电极构成；遮光膜，其覆盖所述电极；以及防反射膜，其形成在所述光电转换单元上，并由四层以上的膜构成，其中，所述防反射膜中的下层的膜在图案化期间兼作阻挡膜，并且所述遮光膜的端部与所述半导体基板之间的间隔设置成小于所述栅极绝缘膜的厚度，通过在所述遮光膜的端部与所述半导体基板之间插入所述防反射膜中的所述下层的多层膜界定所述间隔。