[发明专利]周期可调制的亚微米衍射光栅及其制备方法

摘要

本发明公开了一种作为色散原件的周期可调制的亚微米衍射光栅及其制备方法。该衍射光栅的光栅结构由具有延展性的金属材料制成，光栅结构通过纳米压印微加工技术制作在高分子弹性体基片上。在垂直或平行于光栅线条方向对高分子弹性体拉伸，可对光栅周期进行放大或缩小的调制，通过控制弹性体的纵、横向拉伸程度，光栅周期可在其初始周期20%的范围内进行连续、任意调制，获得任何预定的目标周期。本发明的周期可调制衍射光栅，同时具有等栅距光栅和变栅距光栅的优点，采用一块可调制周期的光栅可替代多块不同周期的光栅，在一定的波长范围内，通过对光栅周期的调制达到与入射光频率的最优匹配。

主权项

周期可调制的亚微米衍射光栅，其特征在于，光栅的条纹结构由金属制成；所述光栅的金属条纹结构制备在高分子弹性体材料的基底上；所述光栅的初始周期在亚微米以下，光栅的周期通过控制高分子弹性体的拉伸可进行调制。