[发明专利]靶材的真空包装方法无效

专利信息
申请号: 201110329880.3 申请日: 2011-10-26
公开(公告)号: CN102424134A 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 潘杰;姚力军;王学泽;郑文翔 申请(专利权)人: 余姚康富特电子材料有限公司
主分类号: B65B31/02 分类号: B65B31/02;B65B31/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 315400 浙江省宁波市余姚*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种靶材的真空包装方法,包括:靶材装入包装袋,对包装袋进行第一次抽真空;向包装袋充入惰性气体;对包装袋进行第二次抽真空;将包装袋封口。利用本发明的方法,可以很好的确保包装袋内没有容易引起靶材生锈或表面被氧化的空气。
搜索关键词: 真空包装 方法
【主权项】:
一种靶材的真空包装方法,其特征在于,包括:靶材装入包装袋,对包装袋进行第一次抽真空;向包装袋充入惰性气体;对包装袋进行第二次抽真空;将包装袋封口。
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