[发明专利]微纳器件离面运动测量中面内误差检测装置及补偿方法无效
| 申请号： | 201110327688.0 | 申请日： | 2011-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN102506710A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 陈治;陈澄;李艳宁;丹特·多伦雷;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种微纳器件离面运动测量中面内误差检测装置及补偿方法，装置有控制及图像处理单元，以及与所述的控制及图像处理单元相连接的相移显微干涉系统，相移显微干涉系统包括有：依次设置的：振动隔离台、三维微动探针台、被测微纳器件、显微干涉仪、纳米定位仪以及显微镜；频闪照明控制器；高压运放驱动器，连接被测微纳器件；任意波形发生器，输入端连接控制及图像处理单元，输出端分别连接频闪照明控制器和高压运放驱动器；CCD摄像机，与显微镜相连；图像采集卡，分别连接控制及图像处理单元和CCD摄像机。方法：采集被测微纳器件的动作图像；进行面内位移测试；进行离面运动测试；进行时间轴和空间轴的双相位展开。本发明使用简单，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 运动 测量 中面内 误差 检测 装置 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳器件离面运动测量中面内运动误差检测装置，其特征在于，有控制及图像处理单元(1)，以及与所述的控制及图像处理单元(1)相连接的相移显微干涉系统(2)，其中，所述的相移显微干涉系统(2)包括有：依次设置的用于得到被测微纳器件(29)的图像的：振动隔离台(211)、三维微动探针台(210)、被测微纳器件(29)、显微干涉仪(28)、纳米定位仪(27)以及显微镜(26)；频闪照明控制器(25)，为系统提供照明；高压运放驱动器(23)，连接被测微纳器件(29)，用于驱动被测微纳器件(29)运动；任意波形发生器(24)，输入端连接控制及图像处理单元(1)，输出端分别连接频闪照明控制器(25)和高压运放驱动器(23)，在控制及图像处理单元(1)的控制下分别向频闪照明控制器(25)和高压运放驱动器(23)发出驱动信号；CCD摄像机(22)，与显微镜(26)相连，用于通过显微镜(26)摄取被测微纳器件(29)的图像；图像采集卡(21)，分别连接控制及图像处理单元(1)和CCD摄像机(22)，用于采集CCD摄像机(22)所摄取的被测微纳器件(29)的图像，并将该图像存储在控制及图像处理单元(1)中。
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