[发明专利]以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法

摘要

本发明公开了一种以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法，包括玻璃清洗、光学检测、镀膜、性能检测、成品制成5个步骤，其镀膜方式为：将制备透明导电氧化物薄膜的金属无机盐前驱物配制成澄清饱和水溶液，利用鼓泡器和载气N2将其溶液载入到LPCVD镀膜室中，控制无机盐前驱物与N2的流量比、镀膜室中的压力、镀膜室温度及玻璃基底温度，在玻璃基底上沉积生成透明导电氧化物薄膜。本发明以金属无机盐代替有机前驱物制备透明导电氧化物薄膜玻璃，避免了有机物对膜层的污染，保证了镀膜玻璃的优异性能，易于产业化，为透明导电氧化物薄膜玻璃的发展提供了一种新思路。

主权项

一种以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法，其特征是按下列步骤进行的：①、玻璃清洗：将备好的玻璃片传送至玻璃清洗系统清洗，并将清洗后的玻璃烘干；②、光学检测：用光学检测系统检测清洗后的玻璃表面是否有残留的污渍，将检验合格的玻璃送至LPCVD镀膜室；③、镀膜：将制备透明导电氧化物薄膜的金属无机盐前驱物配制成澄清饱和水溶液，利用鼓泡器和载气N2将其溶液载入到LPCVD镀膜室中，所用的N2流量为300‑325 SCCM，无机盐前驱物与N2的摩尔比为0.2‑0.3，镀膜室中的压力控制在100‑500mTorr，镀膜室温度比金属无机盐的分解温度高150‑200℃，金属无机盐在LPCVD镀膜室中分解，并最终在比镀膜室温度低50‑100℃的玻璃基底上沉积生成透明导电氧化物薄膜； ④、性能检测：用全光谱反射膜厚度测量仪和四探针方块电阻测量仪测量透明导电氧化物薄膜玻璃的透光率、厚度和方块电阻； ⑤、成品包装：将经检验符合镀膜玻璃标准的透明导电氧化物薄膜玻璃下线，按要求包装，得到最终产品。