[发明专利]靶材与背板的焊接方法及形成的靶材组件有效
| 申请号： | 201110321235.7 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102430865A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K28/02 | 分类号： | B23K28/02;B23K15/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材与背板的焊接方法，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域。本发明还提供一种靶材组件，包括靶材与背板，其中，所述靶材的背面形成有多个燕尾槽，所述背板的正面形成有与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起。采用了本发明的技术方案，可以避免了现有技术中采用钎焊的方式，需采用焊料，降低了成本，且形成的靶材组件不会因焊料限制而影响出口，且实现了环保目的，同时避免了采用实现条件要求较高的热等静压焊，工艺简单易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 焊接 方法 形成 组件 | ||
【主权项】：
一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：在靶材的背面形成多个燕尾槽，在背板的正面形成与燕尾槽匹配的多个燕尾状凸起；将靶材与背板叠合放置，并使燕尾状凸起与燕尾槽咬合在一起；采用静压方式处理靶材与背板中心区域，利用电子束焊接靶材与背板的边缘结合区域。
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