[发明专利]一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法有效
申请号: | 201110321003.1 | 申请日: | 2011-10-15 |
公开(公告)号: | CN102420274A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 赵波;齐红霞 | 申请(专利权)人: | 徐州师范大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人: | 何君 |
地址: | 221000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体发光与显示器件的制备方法,具体地说,是涉及一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法,属光电集成技术领域。该制备方法包括如下步骤:清洗硅片、在清洗后的硅片上制备多孔硅、在多孔硅上沉积氮化铝薄膜、用紫外光照射氮化铝薄膜,得到在可见光区发光的白光发射器件。本发明具有如下的有益效果:器件结构简单,无污染,制备成本低;不需要荧光粉,发光效率高;发光性能稳定,光谱波长范围宽。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 紫外光 激发 白光 发射 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法,其特征是:该制备方法包括如下步骤:步骤一,清洗硅片;步骤二,在清洗后的硅片上制备多孔硅;步骤三,在多孔硅上沉积氮化铝薄膜;步骤四,用紫外光照射氮化铝薄膜,得到在可见光区发光的白光发射器件。
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