[发明专利]基于MEMS技术的电化学地震检波器

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，涉及地震检波技术，能够检测微弱地震波，是一个层状叠加结构的敏感单元密封在一个盛满电解质溶液的腔体里，敏感单元的每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极和背面的沟槽形绝缘流道。当地震检波器受到地震波的振动时，相当于受到一个加速度的作用，溶液内部将产生压力梯度，改变了溶液的离子浓度分布和速度场，影响电极处的电化学反应速率，从而使电极电流发生改变。通过测量电极电流的变化，就可以实现对地震波的检测。传感器采用层状和共面叉指电极的结构，提高了地震检波器的灵敏度，电极一致性好，便于调节电极宽度和间距。

主权项

一种基于MEMS技术的电化学地震检波器，其敏感单元密封在盛满电解质溶液(4)的腔体中；其特征是：敏感单元为层状叠加结构，每一层包括正面的两对共面叉指形排列的电极(1a，1b，2a，2b)和背面的多个沟槽形绝缘流道(3)，上一层的流道(3)紧贴在下一层的电极(1a，1b，2a，2b)上，使电解质溶液(4)在电极(1a，1b，2a，2b)表面流动。