[发明专利]荫罩母板精密自动对准系统及其方法

摘要

本发明涉及显示器器件制造的技术领域，提出一种采用衍射叠栅信号技术实现荫罩母板的精密自动对准系统和方法。采用差动叠栅信号技术检测位置偏差，可有效检测两块玻璃母板的相对位置偏差，并确保较高的检测精度。对准系统取透射的0次差动叠栅信号为控制信号，由光电二极管转换为电信号，经放大、滤波等处理后，由A/D转换器转换为数字信号，输入工业控制计算机，微机根据输入的信号确定位置偏差的大小和方向，再发出相应的驱动脉冲信号，使步进电机细分步驱动活动母板，达到所要求的位置精度范围，最终使活动母板与固定母板完全对准。系统在软、硬件方面采取了一系列抗干扰措施，确保了较高的对准精度及工作可靠性，对准精度为±0.5μm。

主权项

荫罩母板精密自动对准系统，包括半导体激光器、分光镜、动框架、定框架、差动光栅、光电二极管、信号处理电路、A/D转换器、工业控制计算机、步进电机及驱动器、精密凸轮驱动机构等，其特征在于：差动光栅由在两块玻璃母板上各设置的四组光栅构成；精密凸轮驱动机构包括四个弹簧和四个凸轮，所述弹簧两两分为一组，分别设置在动框架的对角处，并且四个弹簧分别连接在动框架的四条边上；所述凸轮两两分为一组，分别设置在动框架的另外一对对角处，并且四个凸轮也分别与动框架的四条边接触，四个凸轮由四个伺服电机驱动旋转；所述信号处理电路由电流/电压转换电路、放大电路、滤波电路和调零电路四级组成。