[发明专利]机械握爪干燥方法和干燥装置在审
| 申请号： | 201110298659.6 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102506561A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 钮晨光;包中诚 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | F26B3/00 | 分类号： | F26B3/00;F26B21/14;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种机械握爪干燥方法和机械握爪干燥装置，其中，所述机械握爪干燥方法至少包括：加热用于干燥的惰性气体；通过加热后的惰性气体对机械握爪进行干燥。本发明通过对用于干燥的惰性气体预先进行加热，然后再将其对机械握爪进行干燥，从而在无需增加干燥时长的前提下实现了干燥效果的改善，结构简单，易于有效地利用现有的机台设备，节省了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 机械 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种机械握爪干燥方法，其特征在于，至少包括：加热用于干燥的惰性气体；通过加热后的惰性气体对机械握爪进行干燥。
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