[发明专利]一种非水基流延浆料及其制备方法有效
申请号: | 201110297045.6 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN102503444A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 郑宏宇;金华江;任才华;张炳渠;石鹏远;吴亚光;张金利 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | C04B35/634 | 分类号: | C04B35/634 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 050051 河北省石家*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种非水基流延浆料及其制备方法,涉及半导体微电子器件制备领域。一种非水基流延浆料,原料按质量比由以下物质组成:瓷粉:58~63%,丁酮:10~12%,乙醇:7~8%,油酸甘油酯:0.1~0.5%,液态粘结剂:15~20%,邻苯二甲酸丁卞酯:1.5~2%。制备方法包括以下步骤(1)制备液态粘结剂;(2)将原料中的丁酮、乙醇、油酸甘油酯和部分液态粘结剂球磨10-60分钟;(3)向步骤(2)的球磨罐中加入瓷粉,球磨2-12小时;(4)向步骤(3)的球磨罐中加入邻苯二甲酸丁卞酯和剩余粘结剂,球磨至混合均匀。本发明所制备的浆料流延得到的带料具有机械强度大,尺寸稳定性好,层压性能优良的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 基流 浆料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种非水基流延浆料,其特征在于:原料按质量百分比由以下物质组成:瓷粉:58~63% 丁酮:10~12% 乙醇:7~8% 油酸甘油酯:0.1~0.5% 液态粘结剂:15~20% 邻苯二甲酸丁卞酯:1.5~2%;所述液态粘结剂原料按质量百分比由以下物质组成:聚乙烯醇缩丁醛:19~25% 丁酮:42~50% 乙醇:28~34%。
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