[发明专利]检测装置和放射线检测系统

摘要

本申请涉及检测装置和放射线检测系统。层叠型检测装置包含沿行方向和列方向以小的间隔布置的多个像素，并且具有允许高速驱动操作的小的信号线电容。各像素包含被配置为将放射线或光转换成电荷的转换元件和被设置在绝缘基板上的开关元件。驱动线被设置在绝缘基板上并与沿行方向布置的开关元件连接；并且，信号线与沿列方向布置的开关元件连接。各转换元件被设置在相应的开关元件之上。通过使用被嵌入位于驱动线的最上表面部分之下的绝缘层中的导电层来实现驱动线，该驱动线的最上表面部分位于开关元件的主电极的最上表面部分之下，该开关元件的主电极的最上表面部分位于转换元件之下。

主权项

一种检测装置，包括：在绝缘基板上沿行方向和列方向布置的多个像素，各像素包含被配置为将放射线或光转换成电荷的转换元件和被设置在绝缘基板上并被配置为输出与所述电荷对应的电信号的开关元件，该转换元件被设置在开关元件之上；与沿行方向布置的多个开关元件连接的驱动线；和与沿列方向布置的多个开关元件连接的信号线，其中，开关元件的主电极的最上表面部分位于转换元件之下，其中，驱动线位于绝缘基板上，并且，驱动线的最上表面部分位于各开关元件的主电极的最上表面部分之下，并且，其中，信号线由被嵌入位于比驱动线的最上表面部分低的层中的绝缘部件中的导电层形成。