[发明专利]一种离子中性化网板无效
| 申请号： | 201110287917.0 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102339715A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 席峰;李勇滔;李楠;张庆钊;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H3/00 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子中性化网板，属于中性离子刻蚀技术领域。所述离子中性化网板为台阶式结构，所述中性化网板上设置有多个网孔。本发明提供的离子中性化网板，有助于提高离子中性化的效率，提高了中性粒子束密度分布的均匀性、粒子速度等特性的稳定，对于有效控制中性粒子束工艺起到关键的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 中性 化网板 | ||
【主权项】：
一种离子中性化网板，其特征在于，所述离子中性化网板为台阶式结构，所述离子中性化网板上设置有多个网孔。
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