[发明专利]纳米位移测量传感器

摘要

本发明涉及纳米计量技术领域，具体涉及一种传感装置。纳米位移测量传感器，包括激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器、信号处理电路、微型处理器系统，光学棱镜包括反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、非偏振分光棱镜、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜。光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器。本发明基于衍射光栅，半导体激光光源的微型纳米测量系统，利用上述元件构建一纳米测量光路，该纳米测量光路将环境光源的影响降至最低，通过提高了光栅偏摆的公差，抑制光栅运动直线度误差的影响，实现紧凑小巧的光路结构，缩短测量光路的光程，提高系统的抗环境干扰的能力。

主权项

纳米位移测量传感器，包括用于产生激光光束的激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器、信号处理电路、微型处理器系统，其特征在于，所述光学棱镜包括反射镜、第一直角棱镜、第二直角棱镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、非偏振分光棱镜、第一偏振分光棱镜、第二偏振分光棱镜；所述光电探测器包括第一光电探测器、第二光电探测器，所述第一光电探测器、所述第二光电探测器分别连接所述信号处理电路，所述信号处理电路连接所述微型处理器系统；所述激光器的出光口前方设有所述反射镜，所述反射镜将所述激光器产生的激光光束反射到所述光栅的一点上，产生第一次衍射；衍射光束为两束，分别为+1级衍射光、‑1级衍射光，所述+1级衍射光射入所述第一直角棱镜的斜面内，在所述第一直角棱镜内部进行全反射后回到所述光栅的另一点上；所述‑1级衍射光通过所述第一四分之一波片射入所述第二直角棱镜的斜面内，在所述第二直角棱镜内部进行全反射后回到所述光栅的另一点上，所述第一直角棱镜与所述第二直角棱镜反射的衍射光束位于光栅的同一点上，产生第二次衍射；经所述光栅产生的第二次衍射后的两束光经所述非偏振分光棱镜分为两束光；一束光经所述第一偏振分光棱镜射入所述第一光电探测器，另一束光通过所述第二四分之一波片射入所述第二偏振分光棱镜，进而射入所述第二光电探测器；所述第一光电探测器、所述第二光电探测器接收到的正弦波信号分别通过所述信号处理电路处理后，发送给所述微型处理器系统，通过所述微型处理器系统进行分析。