[发明专利]一种ITO废靶的高效回收方法

摘要

本发明介绍了一种TO废靶的高效回收方法，采用等离子气化法生产装置，使ITO靶材直接气化生成ITO粉末；整个回收过程在等离子气化装置中完成，该装置中产生稳定等离子电弧，在电弧高温作用下ITO废靶瞬间气化、冷却收集。本发明将等离子气化法生产装置应用到陶瓷废靶回收领域中，成功实现了ITO废靶的高效回收，回收效率可达99%；制备成的ITO粉末颗粒的平均粒径<100nm，颗粒形貌大多呈类球状和四方状，粉末团聚少，可直接用于生产ITO靶材；具有工序简单、自动化程度高、循环再利用周期短、回收率高、成本低、节能环保等明显的优点。

主权项

一种ITO废靶的高效回收方法，其特征是具体工艺为：（1）ITO废靶表面清洁：先将废靶表层明显杂物去除后，放置在有机溶剂中浸泡10~15min，取出擦拭表面有机溶剂或者待有机溶剂挥发完毕，再用以纯水为清洗液进行超声波清洗后，干燥待用；（2）等离子气化法回收ITO废靶：回收过程在等离子气化生产装置中完成，将干燥后的ITO靶材作为阴极放置在等离子气化生产装置反应器中，等离子枪作为阳极，ITO靶材既是被气化体又是导电体，在阴极和阳极之间通入大电流，在此电流产生的电阻热及强磁场对射流的压缩下，产生电弧，使ITO靶变成蒸气，在氧气氛保护下，骤冷形成ITO粉末。