[发明专利]一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统

摘要

一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统，属于光学检验测量技术领域中涉及的一种光学系统，要解决的技术问题是：提供一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统。解决的技术方案包括光源、聚焦镜、针孔、准直透镜、分束器、第一至第五偏振分束器、第一至第三四分之一波片、平面反射镜、半波片、第一、二会聚透镜、第一至第三转向镜、被测镜片、第一、二检偏器、第一、二面阵接收器。通过分束器、第一和第二偏振分束器、第一四分之一波片、平面反射镜形成两束独立的参考光。经过第三、第四和第五偏振分束器、第二和第四四分之一波片、第二会聚透镜形成两束独立的测量光。再通过第一和第二检偏器分别形成干涉图进行测量。

主权项

一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统，包括光源(24)、聚焦镜(25)、针孔(26)、准直透镜(27)、第一四分之一波片(31)、平面反射镜(32)、半波片(33)、第一转向镜(37)、第二转向镜(40)、第三转向镜(41)、被测镜片(42)、第一检偏器(45)、第二检偏器(46)、第一面阵接收器(47)、第二面阵接收器(48)；其特征在于还包括分束器(28)、第一偏振分束器(29)、第二偏振分束器(30)、第三偏振分束器(34)、第二四分之一波片(35)、第一会聚透镜(36)、第三四分之一波片(38)、第二会聚透镜(39)、第四偏振分束器(43)、第五偏振分束器(44)；在光源(24)光束传播方向的光轴上，从上至下依次放置聚焦镜(25)、针孔(26)、准直透镜(27)、分束器(28)、半波片(33)、第三偏振分束器(34)、第三四分之一波片(38)、第二会聚透镜(39)、第二转向镜(40)；其中分束器(28)与光轴成45°角，第三偏振分束器(34)与光轴成45°角；在分束器(28)反射光的光轴方向放置第一偏振分束器(29)、第二偏振分束器(30)，二者相互平行且与光轴成45°角，第二偏振分束器(30)的偏振方向与第一偏振分束器(29)的偏振方向垂直；在第一偏振分束器(29)反射光光轴相反方向上，从上至下依次放置第四偏振分束器(43)、第一检偏器(45)、第一面阵接收器(47)；在第二偏振分束器(30)反射光光轴相反方向上，从上至下依次放置第五偏振分束器(44)、第二检偏器(46)、第二面阵接收器(48)；第一四分之一波片(31)和平面反射镜(32)两者平行，同时与第一偏振分束器(29)、第二偏振分束器(30)反射光光轴垂直，且从下至上放置；在第三偏振分束器(34)反射光的光轴上依次放置第二四分之一波片(35)、第一会聚透镜(36)、第一转向镜(37)，且第一转向镜(37)与光轴成45°角；在第二转向镜(40)转折后的光轴上放置第三转向镜(41)，第三转向镜(41)与光轴成45°角；第一转向镜(37)、第三转向镜(41)转折后的光轴重合在同一条直线上；被测镜片(42)置于第一转向镜(37)、第三转向镜(41)中间位置上。