[发明专利]气体射流冲击冷却装置有效
申请号: | 201110266516.7 | 申请日: | 2011-09-08 |
公开(公告)号: | CN103000486A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 杨志斌;束剑平;张洪博;赵滨;江家玮 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J61/52 | 分类号: | H01J61/52 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种气体射流冲击冷却装置,用于冷却汞灯的阳极。汞灯包括阳极和椭球碗,阳极容置在椭球碗中。气体射流冲击冷去装置包括偶数个喷嘴,对称设置在椭球碗的上端面。喷嘴包括接入口和喷口。接入口连接冷却介质。喷口用于喷出冷却介质至阳极。本发明提出的气体射流冲击冷却装置,包括对称设置在汞灯上的喷嘴,能够对圆柱体形的阳极进行有效冷却,其成本低廉,冷却效率高,适于产业上的广泛利用。 | ||
搜索关键词: | 气体 射流 冲击 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种气体射流冲击冷却装置,用于冷却汞灯的阳极,所述汞灯包括所述阳极和椭球碗,所述阳极容置在所述椭球碗中,其特征是,所述气体射流冲击冷去装置包括:偶数个喷嘴,对称设置在所述椭球碗的上端面,所述喷嘴包括:接入口,连接冷却介质;以及喷口,用于喷出所述冷却介质至所述阳极。
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