[发明专利]用于测量磁悬浮轴承轴向、径向刚度的装置及方法

摘要

本发明揭示了一种磁浮轴承的刚度测量装置及方法，该装置主要包括三个精密电控位移台、一个旋转台、三个激光位移传感器、一个六自由度的力/力矩传感器、工具转换器、安装转换器、直角固定架、参考测量平面及磁浮轴承，并通过PC机控制三个精密电控位移台，使磁浮轴承的定子在水平面内某一方向移动，使磁浮轴承的转子在竖直方向上移动，通过测量转子在某一步进点的受力及此时定子或转子相对于平衡点的位移，得到力-位移数据，通过选择的拟合模型对所述数据进行相关处理得到此方向不同位置处的刚度。本发明具有精度高、测量灵活、自动化程度高、操控性好等优点。

主权项

一种用于测量磁悬浮轴承轴向、径向刚度的装置，其特征在于：包括相互垂直设置、其运动方向亦相互垂直的三个位移台，分别为X、Y、Z方向精密电控位移台；以及分别用于测量所述X、Y、Z方向精密电控位移台位移的激光位移传感器，分别为X、Y、Z方向激光位移传感器；所述Y方向精密电控位移台通过一固定于所述X方向精密电控位移台上的X方向载物台相对可移动地设置于所述X方向精密电控位移台上；所述Y方向精密电控位移台上固定有Y方向载物台，所述Y方向载物台上枢轴设有一个旋转台，所述旋转台用于固定所述磁悬浮轴承的定子；所述Z方向精密电控位移台通过固定于其上的Z方向载物台与一直角固定架的侧面紧密连接，所述直角固定架的底面通过一安装转换器固定一力/力矩传感器，所述力/力矩传感器通过一工具装换器固定所述磁悬浮轴承的转子。