[发明专利]一种有源静电电场探头有效
| 申请号： | 201110228907.X | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102411095A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 全荣辉;韩建伟;张振龙;黄建国;封国强;李宏伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R29/24 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉;高宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有源静电电场探头。所述探头包括前端探头和电荷传感器，所述前端探头包括感应金属片(1)，所述感应金属片(1)下方设置有环形的压电薄膜(2)，该压电薄膜(2)通过相应的环形导电环(3)经电阻(14)与第一转接头(9)连接；所述感应金属片(1)上加有静电电压，并通过导引电极(4)经电阻(14)与第二转接头(17)连接。本发明的有源静电电场探头，其测量精度仅依赖于感应金属片电荷分辨率，其精度得到进一步提高；测量反应时间仅依赖于感应金属片受到电场作用时间，因此测量反应快；而且其结构简单，成本低廉，适用于真空转接环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有源 静电 电场 探头 | ||
【主权项】：
一种有源静电电场探头，所述探头包括前端探头和电荷传感器，所述前端探头包括感应金属片(1)，其特征在于，所述感应金属片(1)下方设置有环形的压电薄膜(2)，该压电薄膜(2)通过相应的环形导电环(3)经电阻(14)与第一转接头(9)连接；所述感应金属片(1)上加有静电电压，并通过导引电极(4)经电阻(14)与第二转接头(17)连接。
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