[发明专利]一种等离子体喷枪无效
| 申请号： | 201110227842.7 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102291923A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 温贻芳;陈新;芮延年;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215104 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种等离子体喷枪，用于气相反应工艺之中，该喷枪为外层阳极套管，中间层绝缘套管和内层阴极套管复合的三层套接结构，其中该外层阳极套管接地，该内层阴极套管为空心阴极结构并连接高频电源，该喷枪的喷头空心阴极细于喷枪枪体的空心阴极。本发明一种等离子体喷枪的应用实施，较之于常规等离子体喷枪，本发明的喷枪结构具有气相反应温和，更适于处理某些敏感材料，而且突破了喷枪对负压及真空腔体的过度依赖，使其能自如地应用于普通大气环境下，且提高了高能粒子的输出密度，材料表面改性处理效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 喷枪 | ||
【主权项】：
一种等离子体喷枪，用于气相反应工艺之中，其特征在于：所述喷枪为外层阳极套管，中间层绝缘套管和内层阴极套管复合的三层套接结构，其中所述外层阳极套管接地，所述内层阴极套管为空心阴极结构并连接高频电源，所述喷枪的喷头空心阴极细于喷枪枪体的空心阴极。
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