[发明专利]一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪在审

专利信息
申请号: 201110227518.5 申请日: 2011-08-10
公开(公告)号: CN102921675A 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 王守国;贾少霞;赵玲利 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;H05H1/30;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪,包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源,其特征在于:该喷枪壳体为金属板,四周密封连接,上端为进气端,下端为喷气口,两个射频电极被壳体围在喷枪内部,介质阻挡层包裹着两个射频电极,喷枪金属壳体作为接地电极保持接地,两个射频电极之间有一条缝隙,工作气体采用氩气和氧气的混合气体,工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出,常压下,当射频电极与射频电源连接时,在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体,等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应,由于大部分等离子体在介质阻挡层下面产生,降低了金属污染。
搜索关键词: 一种 新型 大面积 放电 常压 等离子体 自由基 清洗 喷枪
【主权项】:
一种新型的大面积放电的常压等离子体自由基清洗喷枪,包括两个射频电极、一个接地电极、一个射频电源,其特征在于:该喷枪壳体为金属板,四周密封连接,上端为进气端,下端为喷气口,两个射频电极被壳体围在喷枪内部,介质阻挡层包裹着两个射频电极,喷枪金属壳体作为接地电极保持接地,两个射频电极之间有一条缝隙,工作气体采用氩气和氧气的混合气体,工作气体从两个射频电极之间的缝隙喷出,常压下,当射频电极与射频电源连接时,在射频电极的下面会产生大面积的辉光等离子体,等离子体中的自由基束流与被清洗的物体表面进行反应,由于大部分等离子体在介质阻挡层下面产生,降低了金属污染。
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